湿法化学在线分析装置

GM TECH-1XX0

简介：

湿法化学在线分析装置GM TECH-1XX0提供各种产业的湿化学工程师一个快速和准确的浓度分析仪器，来做为药液的浓度分析和管理。

本分析仪具备有药液的浓度实时在线量测和内建控酸软体来独立完成量测和补液的功能，并可以搭配UV/Vis/NIR等光学模块或比重(S.G)、pH、导电度计等来做多成份的浓度分析，并可将结果传给主机台或直接上传至CIM做后续信息的整合。

基本应用：

GM TECH-1200-H2O2可做为CMP的Slurry研磨液的H2O2浓度分析和管理。

GM TECH-1300-BOE可做为高温BOE酸 (HF/NH4F)的浓度分析和管理。

GM TECH-1500-Cu可做为Cu酸微蚀刻 (H2O2,/ H2SO4/pH,/Cu) 的浓度分析和管理。

GM TECH-1600-SPS 可做为SPS微蚀刻 (SPS, H2SO4, Cu) 的浓度分析和管理。

GM TECH-1700-AL可做为AL酸微蚀刻(HNO3/HOAc/H3PO4)的浓度分析和管理。

GM TECH-1800-TMAH可做为厂务/制程端或放流水的低浓度TMAH的分析和管理。

优点：

1.符合数字化智能工厂要求，数据可直接上传至制造执行系统(MES)，工程师可随时远程监控供酸浓度。

2. 技术支持完善，维修保养简便。

3. 高分辨率滴定管推进器，可以准确控制标准液滴定量。

4. 读值可显示至小数第4位。

仪器规格：

可接样品数   On-Line (最多1-4组), Off - Line(最多1-4组)
指示电极    pH 电极/电导率/光谱
显示屏      10.2" TFT - LCD 彩色触控屏幕
数据储存    外接 USB、PC 或其他记忆装置
外观尺寸    450 (W) X450 (D) X1450 (H) mm (可客制)
机构处理    10t 白色 PP 抗腐蚀外壳
重量        ≤35 公斤
脚位固定    滑轮 + 固定座
电源        单相 AC100 - 264V, 50/60Hz
功率消耗    约 300VA
通讯 I/O    MODBUS TCP/IP (标规)

技术规格:

分析方法：  滴定法/高效色谱法/折光法

化学品名称：TMAH/ HF / NH4F/ H2O2/ H2SO4/ pH /Cu/ HNO3/ HOAc /H3PO4

准确度:      ≦+0.001wt%

读值显示:    至小数第4位

精密度:      ≦0.0005wt%(连续量测3笔)

单位显示:    wt%

测量范围:    ≦0.0005wt%(连续量测3笔)

样品温度:    ≦50℃

分析频率:    可以设定

分析时间:    ≦10 分钟

药液管路规格：

样品 Inlet：    1/4" FNPT
样品 Outlet：  1/4" FNPT
排液 Drain：   1/4" FNPT
DIW Inlet：    1/4" FNPT

Facilities 规格：

DIW：        0.02 - 0.2 MPa, 23±1℃                系统供电：   单相 AC100 - 264V, 50/60Hz, 10A
电力接地：   ≤10Ω 以下

5. 采用进口PFA液接材质阀件，耐药性强，无腐蚀性。

6. HPLC等级的取样器，取样误差小。

7. PP箱体，耐酸碱腐蚀，不会生锈。

8. 体积小，安装容易不占空间。

9. 读值准确稳定，不受外界因素影响。

10. 特殊算法可以精确计算浓度。

11. pH电极寿命长，不需常更换和校正。

12. 分析取样量少，可以节省滴定液之消耗量。

13. 和主机台的通讯容易，可以依需求调整通讯方式。