简介：

 B32化学浓度计基于物理手段的复合传感器以声速、电导率、温度、光谱为基础，配合三维数字模型进行计算。采用多元方程式作为理论依据建立数字化的三维模型，在特定情况下实现多种化学品浓度的实时监测。

为半导体、液晶显示、微电子化学品行业化学品浓度监测，提供了一个经济、简洁、准确、高效、可以长期稳定测量的工具。

不仅仅为客户节省经济成本，高精度（十万分之一精度）实时监测结果，为工艺运行、提高良品率、长期免维护、减少了设备运行故障、确保运维人员安全的第一选择。

  B32化学浓度计为一款高度集成仪表内含控制器、传感器、背板。可以实现自动校准、远程故障预警、维护报警，测量稳定性高（长期无故障运行9000小时以上）、精度可在±0.001 wt%（需依照测量介质数据模型设定），模拟（4-20mA）、数字（modbus RS485 RS232）、全数字化通信及控制。

测量单位可设定（ppb、ppm、mg/l、g/l、wt %等）。

常年优良的运行和维护结果，深受广大国内外用户欢迎，与国际多家知名集成商均保持着战略合作。

应用领域：

6寸、8寸、12寸硅片清洗/研磨（硫酸&双氧水；氨水&双氧水&水；盐酸&双氧水&水；BHF&BOE）；

涂胶工艺线化学品浓度监测（TMAH&PR；HF&氨酸）

湿法刻蚀前显影机化学品监测（TMAH&PR；HCL&双氧水等）

阵列装置显影机化学浓度监测（TMAH&PR；HCL&双氧水等）

显影机浓度回收系统（TMAH&PR）

化学沉积装置 化学品浓度监测

工作原理：

液体的声速在大部分介质中可以有效的监测液体成分。水基溶液的声音传导具有标志性能力，因此可以区分溶液的成分。

声速和温度在溶液中是可以测定的参数，因此可以通过二元方程式就可以确定溶液成分。此种方法结合数字化模型就可以建立一个三维模型，有效的提升了监测溶液的精度最高可以达到±0.001 wt%（体积比十万分之一）。

 测量目标溶液在混合溶液中，将测量的声速和温度转换为浓度和密度参数，在控制单元预设算法和数据模型通过54项必要条件的计算。算法中温度的干扰已经考虑到，因此无需现场校准或更换传感器。声音和温度的监测频率在30-40次/秒，形成了实时高效的准确性，其精度和抗干扰能力远超过滴定和光谱分析方法。

电导率传感器是由两个组合变压器模块组成，表面涂有绝缘层。将传感器浸入采样液体里，利用电磁感应原理进行测量。

当两个变压模块T1、T2进入介质后，在液体中形成回路C2.给主线圈C1通入交流电，在回路C2中产生感应电流i，与液体电导率成比例。同时在二次线圈C3中产生相应感应电势e，通过测量电势e计算出对应液体电导率。

液体浓度与电导率的曲线关系如附图所示，随着浓度的变化，曲线将频繁出现拐点，因此会出现一个电导率值对应两个浓度值的情况。此时声速的监测就尤为重要，一个完整的三维数据模型将有效的避免一个电导率对应两个浓度值的情况。

当水样所含杂质和共存成分的浓度对应电导率变化，引起电导率变化较大时，测量误差也会随之增大。

  紫外吸光传感器为一束精确聚焦的恒定强光穿过介质，利用硅光电二极管监测光的衰减和透射率、散射情况。符合郎伯-比尔定律：透射率损失的对数与产生透射损失的介质的浓度成正比例关系，此定律适用于可溶解性介质和非可溶解性介质，针对不同介质，测量的浓度可以用ppm、mg/l、g/l、ppb、wt%表示测量单位。

  根据这个定律，吸光率，介质的成分及波长都会对透射率损失的对数有影响。因此，选择合适的波长及波长范围对测量结果具有决定性作用，实际应用中波长及滤光片选择请参照